新しい5カ年計画は米国の制裁などの影響を受けない中国独自のサプライチェーン（供給網）構築を狙う。

2019年の華為技術（ファーウェイ）の米国の「エンティティー・リスト（安全保障上の懸念がある企業群）」追加に始まり、先端プロセス向けの製造装置の輸出規制など、米国によるさまざまな制裁により、中国はサプライチェーンの断絶危機を常に抱える。こうした背景が半導体産業の「自立制御」実現に駆り立てる。

中心的な役割を担うのが中芯国際集成電路製造（SMIC）や長江存儲科技（YMTC）、海思半導体（ハイシリコン）などの10社の業界リーダーだ。中国の製造業に詳しい調査会社のエム・アイ・アール（名古屋市中区）によれば、こうした業界リーダーの下、各社が50―100社の中小企業を率いてイノベーションを推進しているという。

半導体メーカーは新規増産時に50％以上の国産装置を導入することを求められている。27年には成熟プロセスにおける装置国産化率70％を目標にする。ある装置メーカー幹部は「洗浄装置で地場メーカーの台頭は明白。これまで通りのビジネスは難しい」と吐露する。

中国の野望はその先を見据える。具体的には回路線幅14ナノメートル（ナノは10億分の1）に適用できる装置でブレークスルーを狙う。既に露光装置では上海微電子装備集団（SMEE）の28ナノメートル向けフッ化アルゴン（ArF）液浸が検証段階に入った。エッチング装置でも北方華創科技集団（NAURA）が28ナノメートル向け装置を量産開始、中微半導体設備（AMEC）の14ナノメートル向け装置もSMICでの検証が始まったようだ。エム・アイ・アールによれば「中国製装置の検証は外国製に比べ早く、1年程度で検証を終わらせる形になっている」とする。力を付けた半導体メーカーが主導する形で装置メーカーの技術確立を急ぐ。

このほかEDAなどでも海外依存の打破をもくろむ。日系装置メーカーは売上高の40％程度を中国向けが占める「特需」が終わったという認識だが、重要市場であることは変わらない。野心あふれる巨大市場との向き合い方が問われている。

[ニュースイッチ 日刊工業新聞]
2026/2/12(木) 11:20
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